atklātu vai jebkurā veidā šifrētu, secīgu attēlu kopums, kas atspoguļo pusvadītāju izstrādājumu saturošo slāņu trīsdimensionālo struktūru un kurā katrs attēls parāda pusvadītāju izstrādājuma virsmas struktūru vai virsmas struktūras daļu dažādās izgatavošanas stadijās.